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  • 微納電路測量顯微鏡AFM90 產(chǎn)品型號:AFM90
    微納電路測量顯微鏡
詳細(xì)內(nèi)容

1、樣品直徑:Φ≤90mm;

2、樣品厚度:≤20mm;

3、樣品平移:XY移動范圍為25mm*25mm,移動精度可達(dá)1um;

4、掃描范圍:XY最大掃描范圍20um*20um,Z最大掃描范圍2.5um;

5、掃描角度:0.6Hz~30Hz,掃描角度0~360°,可進(jìn)行任意角度掃描;

6、掃描速率:支持以1倍速、2倍速、4倍速、8倍速、16倍速;

7、工作模式:接觸模式AFM、動態(tài)力模式(DAFM)F-Z力曲線測量模式、RMS-Z曲線測量模式;

8、減震方式:采用彈簧懸掛式的減震方式,RMS噪音水平<0.05nm;

9、電源:220VAC/50Hz,500W;

10、機(jī)器重量:120kg;

11、機(jī)器尺寸:D480mmx W420mmxH730mm。

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