1、測量尺寸：≤120mm；

2、測量材料：微納半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、薄膜光伏、電極材料等；

3、光譜種類：Psi/Delta、N/C/S、R等光譜；

4、光線入射角：固定角；

5、光譜波長：400-800nm；

6、單次測量時(shí)間：＜10s；

7、膜厚重復(fù)精度：優(yōu)于0.01nm；

8、光斑范圍：2-4mm（大光斑）；

9、折射率重復(fù)精度：0.001；

10、聚焦功能：手動(dòng)找焦；

11、電源：220VAC/50Hz，300W；

12、機(jī)器重量：150kg；

13、機(jī)器尺寸：D320mm× W620mm×H530mm。