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  • 微納電路磁濺系統(tǒng)SPU150 產品型號:SPU150
    微納電路磁濺系統(tǒng)
詳細內容

基本參數(shù)

1、可鍍尺寸:6吋及以下;

2、樣品臺旋轉:自轉速度020/分,可加熱;

3、靶基距:100mm 150mm,調節(jié)量為50mm;

4、操作方式:全自動控制方式;

5、系統(tǒng)總控:人機界面及控制程序;

6、電源:220VAC/50Hz,8KW

7、機器重量:630kg;

8、機器尺寸: D810mm× W1820mm×H1850mm。

 

磁控電源及濺射鍍膜室

1、磁控靶:≥3英寸永磁靶3套,靶頭角度025°可調,配置靶擋板;

2、靶工作模式:單靶濺射,3靶共濺,3靶交替濺射;

3、電源:帶3臺直流電源1KW、RF射頻電源0.6KW、負 500V偏壓電源;

4、真空室:雙真空室結構,圓柱形304不銹鋼,前開門D 型腔體;伺服電機電缸驅動送樣系統(tǒng);

5、真空度:主真空室真空度≥3×10-5 Pa、副真空室真空度 ≥1×10-4 pa

6、抽氣時間:大氣壓~3*10-4 Pa40min;

7、恢復工作真空時間:≤35分鐘左右(新設備充干氮氣);

8、漏率:關機12小時真空度≤10Pa。

 

測量系統(tǒng)

1、真空計:數(shù)顯復合真空計1套,測量低真空和高真空;

2、帶四路氣體流量控制器及顯示儀。

 

冷卻系統(tǒng)

1、配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng):內部用不銹鋼水槽,水冷機設有水流報警系統(tǒng);

2、保護系統(tǒng):對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執(zhí)行相應保護。

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